「Intel 4」プロセスの詳細 – 7nm、EUV露光、性能2割増で2023年製品化を目指す

今年6月に開催されたVLSI Symposiumで、Intelは論文だけで12本。Short Course(技術講座)なども含めると15もの発表を行っている。そのうちの目玉がIntel 4プロセスの詳細である。この内容をもう少しご紹介したいと思う。